超声波扫描显微镜,或超声波显微镜,半导体业界通常都直接简称为c-sam,或sat,主要应用到半导体器件的后封装检测当中。

超声波扫描显微镜简介

超声波显微镜,其实它与显微镜几乎不沾边,只是这玩意最早产生的国外,英文是:scanning acoustic microscope,简称sam。后来进入国内,大家也就直接翻译成超声波显微镜了,或者叫声扫显微镜了。因此在很多半导体器件封装厂,大家也就直接用泊业名:c-sam。 其主要是针对集成电路(芯片)、大功率器件,如igbt、材料内部的失效分析。

 

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