日本UNION公司THS-10测量显微镜 电池防爆片测量. 是一款基于光学焦距检测方法.结合两个显微光学系统(表面和底面),采用精密对焦指示器的非接触式厚度测量系统。当观察到准确的位置和图象时,既可测量厚度,测量厚度10毫米, 可选:25毫米。本机采用光学系统,操作简单。可清楚显示准确的对焦位。(THS-10显微镜 THS-10厚度测量显微镜 THS-10双面非测量显微镜)
案例:易拉罐冲压后的厚度测量(波尔,朝日),晶圆厚度的直接测量.
测量步骤
1.在工作台未放置工件时,垂直移动对焦系统,待两个显示器上都显示对焦的符号后,将Z轴计数器归零.
2 放上工件,移动对焦系统,对工件底部对焦。
3.移动上对焦系统,对工件表面对焦。上对焦系统移动的距离即为工件的厚度
测量行程XY 100*100毫米 测量误差1微米
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