超声波扫描显微镜，或超声波显微镜，半导体业界通常都直接简称为c-sam，或sat，主要应用到半导体器件的后封装检测当中。

超声波扫描显微镜简介

超声波显微镜，其实它与显微镜几乎不沾边，只是这玩意最早产生的国外，英文是：scanning acoustic microscope，简称sam。后来进入国内，大家也就直接翻译成超声波显微镜了，或者叫声扫显微镜了。因此在很多半导体器件封装厂，大家也就直接用泊业名：c-sam。 其主要是针对集成电路（芯片）、大功率器件，如igbt、材料内部的失效分析。

 

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