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DCM-40錯位測量顯微鏡

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型號︰DCM-40
品牌︰UNION
原產地︰日本

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產品描述

DCM-40錯位測量顯微鏡

 

DCM-40/60是一款設計獨特的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,並對兩圖像進行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差。用途:直接測量AB兩個面的錯位尺寸

 

可選的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達1μm。

 

DCM-40/60主要應用於微電子行業,特別是在半導體行業。產品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損坏產品。例如:晶圓划片基準印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質量等應用。

 

 

規格:

型號

DCM-40

DCM-60

物鏡

5X, 10X, 20X ,40X, 100X

5X, 10X, 20X ,40X, 100X

工作台

50X50mm 100X100mm

150X150mm

光源

150W鹵素燈2套

150W鹵素燈2套

工件厚度

20mm

30mm

選配件

照相系統、TV系統

 

測量步驟:

 

1.將"光路選擇開關"旋轉到"Top& Bottom"位置,調整上、下物體的光軸至重合。

2.將工件置於工作臺上。旋轉"光路選擇開關"到"Top" 位置,對焦上表面. .

3.旋轉“光路選擇開關"到"Bottom” 位置, 對焦下表面。.

4.將“光路選擇開關"旋轉到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。

 

產品圖片



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