超聲波掃描顯微鏡，或超聲波顯微鏡，半導體業界通常都直接簡稱為c-sam，或sat，主要應用到半導體器件的后封裝檢測當中。
超聲波顯微鏡，其實它與顯微鏡幾乎不沾邊，只是這玩意最早產生的國外，英文是：scanning acoustic microscope，簡稱sam。後來進入國內，大家也就直接翻譯成超聲波顯微鏡了，或者叫聲掃顯微鏡了。因此在很多半導體器件封裝廠，大家也就直接用泊業名：c-sam。 其主要是針對集成電路（芯片）、大功率器件，如igbt、材料內部的失效分析。
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